生产薄膜的公司为韩企S&STech ， 三星曾对其注资并获得了8%的股份 。 该公司是除ASML之外第二家开发出透光率超过90%的EUV薄膜 ， 应三星要求将提高到94% 。
薄膜可以防止EUV受污染而导致良率性能不佳 ， 三星采用后有助于稳定3nm良率 。

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三星曾经在晶圆制造上领先台积电 ， 后来被超过了 ， 3nm终于率先量产 ， 良率又赶不上台积电 。 为扳回一局 ， 三星只能放出大招 ， 采用高透光率EUV薄膜来拯救良率 。
目前 ， 还没有任何晶圆代工厂采用透光率超过90%的EUV薄膜 ， 三星领先采用 ， 能否凭此改善良率 ， 还有待观察 。 台积电和三星竞争还在继续 ， 孰强孰弱拭目以待吧！返回搜狐 ， 查看更多
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