立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业发展趋势 ， 松山湖材料实验室微加工与器件平台正在加速建成集先进材料加工、器件工艺制备及特殊工艺开发为一体的综合性研发平台 ， 可为微电子器件、光电子器件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等领域 ， 实现新材料从微米到纳米甚至原子级别的结构与器件的可控加工与测试 ， 为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案 。

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8寸硅晶圆刻蚀工艺 。
【采访人员】陈启亮
【视频】黄政正
【来源】松山湖材料实验室
【作者】陈启亮黄政正
【来源】南方报业传媒集团南方+客户端
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