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一、半导体加工设备—(日本、美国、德国、英国、荷兰)
半导体业如此巨大的市场,半导体工艺设备为半导体大规模制造提供制造基础。摩尔定律,给电子业描绘的前景,必将是未来半导体器件的集成化、微型化程度更高,功能更强大。以下是半导体生产过程中的主要设备。下面看一下半导体分类情况如下:
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1)单晶炉
重要功能:熔融半导体材料,拉单晶,为后续半导体器件制造,提供单晶体的半导体晶坯。
全球领先企业(品牌):德国PVA TePla AG公司
日本Ferrotec公司、美国QUANTUM DESIGN公司、德国Gero公司、美国KAYEX公司。
2)气相外延炉
重要功能:为气相外延生长提供特定的工艺环境,实现在单晶上,生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶体,为单晶沉底实现功能化做基础准备。气相外延即化学气相沉积的一种特殊工艺,其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续,而且与衬底的晶向保持对应的关系。
全球领先企业(品牌):美国CVD Equipment公司、美国GT公司、法国Soitec公司、法国AS公司、美国Proto Flex公司、美国科特·莱思科(Kurt J.Lesker)公美国科特·莱思科(Kurt J.Lesker)公司、美国Applied Materials公司。
3)分子束外延系统
重要功能:分子束外延系统,提供在沉底表面按特定生长薄膜的工艺设备;分子束外延工艺,是一种制备单晶薄膜的技术,它是在适当的衬底与合适的条件下,沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜。
全球主要企业(品牌):法国Riber公司、美国Veeco公司、芬兰DCA Instruments公司、美国SVTAssociates公司、美国NBM公司、德国Omicron公司、德国MBE-Komponenten公司、英国Oxford Applied Research(OAR)公司。
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4)氧化炉(VDF)
重要功能:为半导体材料进行氧化处理,提供要求的氧化氛围,实现半导体预期设计的氧化处理过程,是半导体加工过程的不可缺少的一个环节。
全球领先企业(品牌):英国Thermco公司、德国Centrotherm thermal solutions GmbH Co.KG公司。
5)低压化学气相淀积系统(LPCVD)
重要功能:低压化学气相淀积系统设备功能:把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入LPCVD设备的反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜。
全球主要企业(品牌):日本日立国际电气公司
6)等离子体增强化学气相淀积系统(PECVD)
重要功能:等离子体增强化学气相淀积系统设备功能:在沉积室利用辉光放电,使其电离后在衬底上进行化学反应,沉积半导体薄膜材料。
全球领先企业(品牌):美国Proto Flex公司、日本Tokki公司、日本岛津公司、美国泛林半导体(Lam Research)公司、荷兰ASM国际公司。
7)磁控溅射台
重要功能:通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场,和靶表面上形成的正交电磁场,把二次电子束缚在靶表面特定区域,实现高离子密度和高能量的电离,把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。
全球领先企业(品牌):美国PVD公司、美国Vaportech公司、美国AMAT公司、荷兰Hauzer公司、英国Teer公司、瑞士Platit公司、瑞士Balzers公司、德国Cemecon公司。
8)化学机械抛光机(CMP)
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