抛光垫|集成电路“针尖突破”为何重要？这场创新峰会上，院士专家这样说 2022|gala|evan|ceo|威尼斯人|oled|三

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2020年全球半导体市场规模达4000多亿美元，而应用于半导体市场的光刻胶产业规模仅为19亿美元，占比不足1%，是名副其实的“针尖”领域，而在整个集成电路产业，这样的“针尖”还有很多。在今天举行的2021中国（上海）集成电路创新峰会之院士圆桌会议上，专家建议，产业创新不妨多一些“针尖突破”，由点及面推动我国集成电路全产业链的创新发展。
点上突破不断，产业细分领域频现“破冰”
材料和设备是半导体产业的基石，产业规模大、细分领域多、技术门槛高，创新也最为活跃，近年来，不少环节已现“破冰”。
芯片制造过程中的光刻步骤，如同用刀雕刻出精密图案，光刻胶在这一过程中充当抗腐蚀涂层。根据不同的光波长，光刻胶大致可以分为G线、I线、K线、EUV等几类，在全球光刻胶市场中，日美厂商占据约87%的份额，国内九成光刻胶需求依赖进口。
去年底，上海彤程电子材料有限公司投资5.7亿元，在上海化学工业区建设年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目，目前已完成了K线以下波段的产品研发，有望为中国集成电路厂商提供高性能光刻材料。
制造一片晶圆可能需要几十次抛光，抛光材料在整个集成电路产业中虽然占比不高，但其质量好坏直接影响着下一道工序的进程。从中科院上海微系统所博士毕业后，张泽芳创立了上海映智研磨材料有限公司，专业从事高精密研磨抛光材料的研发制造。
张泽芳的研究方向是抛光液，2019年，他从深圳大学引进了从事抛光垫研究的饶峰教授团队，引入了材料学、电子学、凝聚态物理等方面的新技术，解决了企业的关键技术难题。今年，上海映智上线了三款无纺布抛光垫，预计销售额将突破千万元。
【抛光垫|集成电路“针尖突破”为何重要？这场创新峰会上，院士专家这样说】大小联动，“蚂蚁”“大象”串起产业链上下游
提到集成电路，人们往往把目光聚焦于大企业，彤程新材料集团股份有限公司董事张宁却说：“做光刻胶的都是小企业。”为了找到好的光刻胶材料，公司花费两年时间，几乎找遍了国内所有高校的新材料团队，而在产业研发过程中，又需要就每一个参数不断和上游企业磨合，就在这样的“上接高校，下接大企业”的联动创新中，企业锻炼出了一支高水平的技术队伍。
小企业在集成电路产业创新中有多重要？新思科技中国董事长兼全球资深副总裁葛群表示，比起资金，集成电路产业更需要人，巨大的人才缺口仅靠几家大厂是培养不出来的，需要中小企业共同培养。“集成电路产业不仅靠同一批人在做，它需要源源不断地有其他领域的人加入进来，大家一起攻关难题。”他说。
如何促进“蚂蚁”“大象”共同成长？上海市集成电路行业协会秘书长郭奕武介绍了一些“他山之石”。比如，成立于上世纪80年代的“美国半导体制造技术科研联合体”，每年对集成电路投入两亿美元的支持，这一举措使英特尔在8年后坐上了行业领头羊的位置。与此同时，政府在半导体高速发展时期推出了《小企业投资公司法》《信贷担保法案》等十几部法律，进一步推动了半导体行业的技术创新和产业化。
由点及面，打响“长三角硅谷”品牌
目前，中国已成为全球规模最大、增长最快的集成电路市场，以上海为龙头的长三角占据国内集成电路产业半壁江山。今年4月，苏、浙、皖、沪共同成立“长三角集成电路融合创新发展产业联盟”，四地集成电路产业发展联系更加紧密。