光刻机|不装了?荷兰ASML“回怼”老美,向中企出口多台光刻机

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“即使给出图纸 , 中国也难以造出光刻机 。 ”
光刻机作为芯片制造的核心装备 , 一直是国产制造崛起的首要难题之一 。 曾几何时 , 荷兰光刻机巨头ASML甚至公开对我国冷嘲热讽 。
几十年来 , 光刻机和高端芯片制造工艺被西方掌握 , 中国高度依赖进口 。 据统计 , 我国每年需花费近2.8万亿外汇进口芯片;老美一纸禁令 , 还曾让我国和ASML签订的高端光刻机订单瞬间作废 , 令国人倍感屈辱 。
然而不到2年 , ASML却突然“反水” 。 不仅在采访中多次“恭维”中国 , 称中国有能力制造出光刻机;还采取实际行动 , 向国内多家企业出口光刻机 。
从前以“老美”马首是瞻的ASML , 为何突然变了幅面孔?

01.得寸进尺!老美限制DUV光刻机出口我国
众所周知 , 老美对我国芯片产业采取“严防死守”的态度 。 2019年起 , 为阻碍中国发展高端芯片产业 , 对华为、中芯国际等企业实施一系列打压措施 。 令人窒息的是 , 目前美方连中国生产中低端芯片的能力也试图剥夺 。
起初 , 老美并未限制中低端芯片制造设备——DUV光刻机向中国出口 。 然而随着中国成为ASML第三大市场 , 美方便开始多次进行游说 , 要求其停止向中企供应光刻机 。
然而老美疏忽的是 , 不同于高端EUV光刻机 , 向中方出口DUV光刻机是ASML主要营收来源 。 ASML对美态度由此开始转变 , 甚至公开回怼美方——“我们是欧洲企业 , 不受其他人操控 , 我们自己决定光刻机卖给谁 。 ”

2.国产崛起?中国芯片产业链加速赶超
表态后不久 , ASML即采取了行动 。
据报道 , 鼎泰匠芯、锐石创芯等多家中国芯片企业 , 都陆续成功从ASML进口光刻机 。 去年年末ASML宣布:预计到2025年 , DUV光刻机产量将提升到600台 , 其中40%将出口到中国市场 。

事实上 , ASML这番“讨好中国”行为更像是无奈之举 。 目前中国为了完成“2025年国产芯片70%自给率”的目标 , 正从日企尼康、佳能获取光刻机研发技术 。 此外 , 上海微电子已实现90nm光刻机量产 , 28nm光刻机也交付在即 。 这意味着 , 如果ASML再不保住中国市场 , 将损失至少1/3的市场份额 。
可喜的是 , 面对封锁 , 我国科学家呕心沥血 , 已逐步建立国内芯片产业链:2022年12月末 , 中企锐石创芯首台ASML光刻机入厂 , 成功弥补中国制造5G射频芯片的能力 , 对于5G芯片国产化具备重大意义;南大光电也突破光刻胶技术难题 , 成功助力国产14nm芯片落地 。

目前 , 我国芯片技术已帮助航空航天、生物制造等多个领域实现“突破” , 逐渐改变“被西方牵着鼻子走”的尴尬局面 。
在航空航天领域 , 中国首架自主研发的国产大飞机C919 , 成功迈出市场“第一步” , 斩获来自德国等1035架海外订单 , 超过波音和空客总和;而在生物制造领域 , 被美、日独占10余年的酶催化技术 , 如今也终于成功宣告实现“国产替代” 。
公开资料显示 , 辅酶1号分子(“益生好”核心物质)起源于哈佛P.G老衰实验室 , 后续麻省理工、耶鲁等多所高校临床实验证实其可修复损伤DNA , 激活长寿蛋白Sirtuins 。 然而 , 由于西方技术垄断 , 其成品分子剂以每克3万的天价 , 通过京东等渠道收割国内需求群体 。