重大突破!中国激光隐形晶圆切割技术实现50nm分辨率,世界领先

今天我们来聊芯片生产过程中非常重要的一个工艺步骤 , 晶圆切割 。 因为 , 我们在这个领域取得重大突破 。
大家好 , 我是老万 , 每天跟您解读中国科技的那点事儿 。
重大突破!中国激光隐形晶圆切割技术实现50nm分辨率,世界领先
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十一长假前夕 , 9月29日 , 中国长城宣布 , 已经完成了半导体激光隐形晶圆切割设备的技术迭代 , 将分辨率由100nm提升至50nm , 达到行业内最高精度 , 这真的是一个巨大的好消息!
最近几年 , 美国对我国的技术封锁和打压越演越烈 , 尤其是在半导体领域 , 这也让我们充分意识到 , 实现100%的半导体产业链是多么地有必要 。 在行业里各家科研院所、企业单位的刻苦攻关和努力下 , 一项项关键技术取得突破 。 而这次 , 中国的激光隐形晶圆切割技术已经取得了世界领先的地位 , 真的是可喜可贺啊 。
大家都知道 , 芯片的制造异常复杂 , 涉及很多的环节和设备 , 我们熟知和关心的光刻机只是其中之一 , 光刻机负责在晶圆上雕刻芯片 , 后面还需要测试、切割、封装等多个步骤 , 才能形成我们看到的芯片 。
重大突破!中国激光隐形晶圆切割技术实现50nm分辨率,世界领先
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其中的封装环节 , 我们中国已经是世界顶尖水平 , 而切割作为芯片制造过程中不可或缺环节 , 负责把晶圆上的芯片一一地切割下来 , 切割工艺的好坏 , 也直接决定了芯片的成品率 。
重大突破!中国激光隐形晶圆切割技术实现50nm分辨率,世界领先】目前主流的芯片切割技术是激光隐形切割 , 这种技术可以将小功率的激光聚焦在一个直径仅有100多纳米的光斑上 , 形成巨大的局部能量 , 然后将晶圆切割开 , 这样既才能避免大功率激光对芯片造成影响 。
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我国在切割设备方面 , 之前一直被国外厂商垄断 , 但是到了2020年5月 , 中国长城旗下的郑州轨交院联合河南通用智能装备有限公司 , 研制出我国首台半导体激光隐形晶圆切割机 , 一举填补了这一领域的空白 , 成功地打破了国外垄断 , 并且关键技术性能参数也达到了世界领先水平 。
重大突破!中国激光隐形晶圆切割技术实现50nm分辨率,世界领先
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而到了2021年 , 仅用了一年多的时间 , 便完成了技术迭代 , 将分辨率由100nm提升至50nm , 比美国同类设备高出了一倍 , 达到行业内最高精度 。
迭代升级后的激光晶圆隐形切割设备可自由控制激光聚焦点的深度、可自由控制聚焦点的长度、可自由控制两个焦点之间的水平间隔 , 通过采用特殊材料、特殊结构设计、特殊运动平台 , 可在500mm/S的高速运动之下 , 保持高稳定性、高精度切割 , 激光焦点仅为0.5um , 切割痕迹更细腻 , 可以避免对材料表面造成损伤 , 大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益 。
这款激光晶圆隐形切割设备可广泛应用于高能集成电路产品 , 包括CPU制造、图像处理IC、汽车电子、传感器、内存等领域的制造 , 对我国实现高端国产半导体供应链起到了积极的促进作用 , 有很重要的现实意义 。
随着美国对我国各个科技领域不断进行封锁和打压 , 近些年来有越来越多的科技成果不断地涌现出来 , 因为大家都明白 , 核心技术不掌握在自己手里 , 就永远不会有话语权 , 所以当下 , 无数的中国科研人员都在努力拼搏地搞研发、搞公关 , 这里我们也要给他们点个赞 , 感谢他们的辛苦付出 。
这次在激光隐形晶圆切割设备方面的突破 , 虽然不能马上解决我国半导体所面临的困境 , 但是就像我之前视频里说的 , 有问题不怕 , 一个一个解决 , 早晚有一天 , 我们会突围成功 。