光学显微镜的分辨率主要影响因素是照明光源的波长 , 要提高分辨率关键是有波长短 , 又能聚焦成像的照明光源 。
电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定 , 关键是确定电磁透镜的最佳孔径半角 , 使得衍射效应埃利斑和球差散焦斑尺寸大小相等
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简述电磁透镜球差、色差及象散的形成机制?
球差是由电磁透镜近轴区域磁场和远轴区域磁场对电子束的折射能力不同而产生的像差 。
【什么叫透镜什么叫像差,简述电磁透镜球差、色差及象散的形成机制?】近轴区域对电子束的折射能力弱 , 远轴区域对电子束的折射能力强 。像散是由透镜磁场的非旋转对称引起的像差 。透镜的极靴孔加工误差 , 上、下极靴的轴线错位、极靴材质不均以及极靴孔周围的局部污染等 , 都会引起透镜的磁场产生椭圆度 。色差是由于成像电子的能量不同或波动 , 电子在透镜磁场中运动速度不同 , 从物面上一点散射的电子不能聚焦在像面上同一点而形成的像差
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