1光刻机(Mask Aligner)别名:掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等 。常见的光刻机是指向光刻的掩膜,所以叫做掩膜,所以叫做掩膜 。Mask Alignment System.
2由于芯片远小于此,无缘无故是无缘无故的nm是的,这至少是μm等级,那到底是什么雕刻刀能做到这么细致 。所以我想,用光刻在芯片上,就是光刻机 。
3Photolithography(光刻)近义用于制作图形(工艺);在硅片表面均匀涂胶,然后将模板中的图形迁移到光刻胶中,临时将设备或电路结构复制到硅片中 。在图像上,光刻机是一个投影仪,将我们想要的图案投射到芯片上 。
【芯片为什么要用光刻机】
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