光刻机|286台光刻机和1340亿元!ASML正式宣布新消息,EUV光刻机信息量大

光刻机|286台光刻机和1340亿元!ASML正式宣布新消息,EUV光刻机信息量大

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光刻机|286台光刻机和1340亿元!ASML正式宣布新消息,EUV光刻机信息量大

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光刻机|286台光刻机和1340亿元!ASML正式宣布新消息,EUV光刻机信息量大

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在光刻机领域内 , 技术最先进的厂商就是ASML , 因为ASML研发制造的光刻机基本上占领了中高端市场 。
数据显示 , 在28nm及以下制程的芯片中 , 各大晶圆代工厂商几乎全部采用ASML的光刻机 , 主要是DUV光刻机和EUV光刻机 。
尤其是EUV光刻机 , 其是目前最先进的设备 , 主要用于生产制造7nm及以下制程的芯片 , 也是必要设备 。

所以各大芯片企业都在争相购买ASML的EUV光刻机 , 由于产能有限 , ASML也无法做到全部满足 , 不得不让三星使用翻新后的EUV光刻机 。
再加上 , 全球芯片紧缺 , 各大晶圆工厂都在积极扩大产能 , 大量购买先进的光刻机等设备 , 其中 , 中芯国际一次性就签订了价值11亿美元的采购协议 。
可以说 , 得益于技术先进和全球缺芯等多种因素的影响 , ASML的光刻机是供不应求 , 其营收也是水涨船高 。

286台光刻机和1340亿元!ASML正式宣布新消息 , EUV光刻机信息量大
1月19日 , ASML正式宣布了新消息 , 事关2021年光刻机出货、营收以及EUV光刻机的最新消息等 。
根据ASML发布的消息可知 , 2021年一共出货了286台光刻机设备 , 总营收为186亿欧元 , 折合人民币1340亿元 。
其中 , 86亿欧元来自EUV光刻机系统 , 也就是说 , ASML在2021年一共出货了42台EUV光刻机 , 比外界预期低了3台 。
最主要的是 , ASML还正式对外透露了很多升级版EUV光刻机的信息 。

例如 , ASML表示下一代EUV光刻机拥有更高的NA值 , 其可以达到0.55 数值孔径 , 能够实现更高的曝光效率 , 每小时在200片以上 。
另外 , ASML目前有两种0.55 数值孔径的EUV光刻机 , 其分别是EXE:5000 和 EXE:5200 , 都能够为更小的晶体管功能提供更高分辨率的模式 。
关键是 , ASML的首个TWINSCAN EXE:5200EUV光刻机已经交付给英特尔 , 而英特尔也下首个EXE:5000光刻机订单 。

也就是说 , 在更先进的EUV光刻机设备上 , 台积电和三星并没有积极下单 , 可能是现有型号的EUV光刻机能够支撑其完成3nm等芯片的研发与制造 。
也可能是ASML的产能有限 , 优先将升级版的EUV光刻机给英特尔 , 台积电和三星要想也需要等待 , 毕竟 , 英特尔有优先获得权 。
最主要的是 , EUV光刻机将会在2025年实现多个未来阶段 , 而更先进的High-NA 技术有望在 2025 年开始支持生产制造 。
也就是说 , ASML在未来几年内 , 不仅会加速生产EUV光刻机的产能 , 两年量产115台 , 还将在未来3年内大量推出EXE:5200型号的光刻机和更先进的High-NA EUV光刻机 。

当然 , ASML之所以加速提升产能 , 并完成光刻机技术多次迭代升级 。
一方面是因为EUV光刻机需求巨大 , 越来越多的芯片采用7nm及以下工艺 , 再加上 , 储存芯片厂商 , 像三星、美光以及SK海力士等都开始用EUV工艺了 。
要知道 , 储存芯片采用EUV工艺 , 每条生产线至少需要1.8台 , 这大大刺激了EUV光刻机的需求量 。
另外一方面芯片制程越来越小 , 现有的EUV型号的EUV光刻机已经不能满足需求 , 为此 , 三星和台积电都开发了新工艺和新材料 , 试图降低对ASML的依赖 。