asml|问题越来越严重,ASML携专利赴美,我们对EUV的突破已毫无意义?

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为了实现芯片的国产化 , 中科院、清北高校等科研机构纷纷跑步入场 , 并成立了专项技术攻关小组 , 对EUV光刻机这类高端芯片制造的核心设备进行研发 。 尽管至今还没有独自造出EUV光刻机 , 但值得肯定的是 , 在该设备技术的研发上 , 我们已取得了巨大的进展以及实质性的成果 。

随着央媒传出国内首台高能同步辐射光源正式落地的喜讯后 , EUV的三大核心技术“双工件台系统、光源、光学镜头” , 均全部破冰 。
突破EUV的关键技术本是振奋人心的好消息 , 因为这意味着我们距离制造出EUV光刻机更近了一步 , 实现“中国芯”的崛起更是指日可待 。

然而 , 没想到的是 , 先后五次示好我国市场的ASML , 再度“变脸” , 决定前往美国东南部的凤凰城 , 与台积电、英特尔聚首 , 共同帮老美提升高精度芯片制造水平 。
要知道 , 荷兰ASML是全球唯一能生产EUV设备的厂商 , 在被老美限制对华出口的情况下 , 无法卖给我们价值1.2亿美元EUV光刻机的ASML , 曾多次向美国政府表达不满 , 同时还声称要加强与中企的合作 , 非常乐意提供技术设备支持 , 帮中国打造完整的半导体产业链 。

不曾料到反转会来得这么快 , ASML赴美 , 意味着它已经站在了我们的对立面 。
未来我国市场想要进口到EUV几乎已无可能 , 更严重的问题是 , ASML的这个决定 , 直接影响到了我们对高精度光刻设备研发的积极性 。
事情是这样的 , 据公开资料显示 , ASML近两年在我国紧迫密集地申请了约3千项光刻专利 , 如果与我国企业市场合作 , 那么肯定会极大的推动我国光刻技术的进步 。 但是它却与老美联手 , 这3千项专利则掉转箭头 , 成了围堵我国在光刻领域突破的壁垒 。

这并非危言耸听 , 专利这个词正是由美国通信巨头高通所提出的 , 而高通利用它通信领域的专利优势 , 至今还每年都在向全球所有的手机厂商收取着巨额的专利费 。 而且 , 还曾多次利用专利 , 逼迫下游手机厂商采用高通芯片 , 否则就以拒绝授权的方式进行打压 。
如今ASML携专利赴美 , 极有可能会给我们造成同样的困扰 , 导致即便我们制造出了EUV光刻机 , 但没有它们的授权 , 却仍然无法使用 。
【asml|问题越来越严重,ASML携专利赴美,我们对EUV的突破已毫无意义?】这是否意味着 , 我们突破EUV核心技术将变得毫无意义?

答案很显然:绝对不会 。
首先 , 只有保持对EUV光刻机的研发力度 , 才有可能创新出有别于ASML的光刻新专利 , 届时 , 才有可能与它们进行“专利交叉授权使用” 。
而ASML与老美之所以设置这道光刻壁垒 , 就是想让我们知难而退 , 永远在光刻领域受到钳制 , 我们若因光刻壁垒而放弃研发 , 则正中了对手的圈套 。
其次 , EUV作为芯片制造的核心设备 , 它所涵盖的三大核心尖端技术 , 在很多领域都有广泛的应用 , 并不单单局限于光刻机 。 因此 , 我们对EUV设备的技术突破 , 即便真的无法用在EUV光刻机上 , 但也绝对可以在其他更多的应用场景中起到作用 。

最后 , 研发出EUV光刻设备 , 将会大幅提升国内半导体市场的士气 , 也能让我们更有信心去赢下与老美的这场科技博弈 。