华卓精科|中国唯一光刻机巨头，坐拥2400项专利，垄断国内80的市场 asml|中芯国际|半导体

5月中旬美国加强对华为芯片管制的消息，不出意外地引发业内哗然。在美国的步步紧逼下，国内不少企业都开始未雨绸缪地加快“自研+去美化”的进程。而考虑到台积电后续可能无法继续为华为芯片代工的情况，中芯国际理所当然地被寄予厚望，但遗憾的是，中芯国际的7nm进程却卡在了高端光刻机的缺席上。

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那么中国是否就对光刻机的制造一无所知呢？其实并不然，中国便有一个光刻机巨头，如今已经坐拥2400项专利，垄断国内80%的光刻机市场份额。它就是上海微电子装备股份有限公司。

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据公开资料显示：上海微电子成立于2002年，公司主要从事半导体、泛半导体以及高端智能装备的设计和制造，而生产光刻机便是其主营业务。作为内地光刻设备的龙头企业，上海微电子曾经在中国半导体协会针对半导体设备商的实力排行中，以第五名的成绩成为当时唯一一个上榜的专门研究光刻机的厂商。

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与此同时，在国内中端先进封装光刻机和LED光刻机市场，上海微电子还占据了80%的市场份额，实力绝对毋庸置疑。此外，企查查数据显示，截至2018年12月，上海微电子的直接持有的各项专利以及专利申请数量，更是超过2400项，“中国光刻机巨头”的称号也是实至名归。

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不过遗憾的是，即便上海微电子在国内光刻机市场是数一数二的存在，但若是放眼全球的话，上海微电子却只能排在第四，被第一名的ASML以及第二三名的日本佳能和康尼等公司远远甩在身后。而且相比于荷兰ASML已经可以生产出适用于7nm，甚至5nm制程的高精度光刻机，上海微电子目前却只能生产出90nm的光刻机，二者的差距一目了然。

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值得一提的是，据5月17日消息，上海微电子计划将在2021年交付首台国产28nm的immersion光刻机。即便这一光刻机技术比之ASML有着近乎20年的差距，但是对于国产光刻机而言，依旧是一个极大的进步。

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而另一方面，根据最新报道，上海微电子貌似又有新动作，预计在2020年12月，可能会下线首台采用ArF光源的SSA800/10W光刻机，这一光刻机，将拥有生产11nm芯片的实力。更令人赞不绝口的是，若是其采用的华卓精科工作台的套刻精度指标优于1.7nm的话，该光刻机或将拥有生产7nm芯片的实力。

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【华卓精科|中国唯一光刻机巨头，坐拥2400项专利，垄断国内80的市场】所以从上述消息不难看出，如今实力在国内光刻机市场屈指可数的上海微电子，已经成为中国光刻机的希望。不知对此，你是否认同？