根据招标网的数据统计 , 华虹无锡 2022 年上半年招标离子注入设备 18 台 , 其中 Sumitomo(住友商事)中标 8 台(7 台中电流离子注入设备) , 应用材料中标 7 台(均为高电流离子注入设备) , 亚舍立 2 台(分别为超高电流离子注入设备和高能量离子注入设备) , 北京烁科中科信 1 台 , 烁科中标的为中电流离子注入设备 。 积塔 2022H1 招标离子注入设备 12 台 , 其中亚舍立 10 台 , 应用材料 2 台 。 长江存储截至 2021 年底共招标涂胶显影设备 54 台 , 其中应用材料 44 台 , 亚舍立 8 台 , 中国台湾汉辰科技 2 台 。
根据公开招投标信息统计 , 截止 2021 年底 , 长江存储项目累计中标过程控制类设备约 376 台 , 其中国产设备累计约 16 台 。 上海精测中标 6 台集成式膜厚设备;中科飞测中标 1 台晶圆表面凹陷检测系统、5 台光学表面三维形貌量测设备、2 台其他量测设备;睿励科学中标 2 台介质薄膜测量系统 。 KLA 的设备机台数量占总数量约 26% , 中标数量约 97 台 , 覆盖超过30 种量测、检测需求 。
▲国内龙头存储晶圆厂中标过程控制设备市占率分布
▲国内龙头存储晶圆厂中标过程控制设备 KLA 中标机台情况(台数)
根据招标网的数据统计 , 华虹无锡 2022 年上半年招标测试设备 57 台 , 其中 TEL 中标20 台(19 台测试探针台) , 是德科技中标 8 台 , DISCO 中标 4 台 , 广立微中标 3 台 , 均为高性能并行电特性测试仪 。 积塔 2022H1 招标测试设备 16 台 ,TEL 9 台 , 上海友能4 台背面工艺测试测试机 。
设备行业核心公司(北方华创、芯源微、华峰测控、中微公司、新益昌、长川科技、万业企业、精测电子、至纯科技 , 拓荆科技、华海清科及盛美上海由于 2020 年数据不完整未被算入)2022Q1营业收入总计76.2亿元 , 同比增长55.3%;扣非归母净利润11.4亿元 , 同比增长83.0% 。 设备行业持续处于高速增长 , 国产替代空间快速打开 , 国内核心设备公司成长可期 。
▲设备核心公司营业收入及归母净利润(亿元)
二、半导体零部件:供不应求 , 市场空间超200亿美金根据韩国 etnews 报道 , 半导体设备需求激增与上游零部件扩产不足的矛盾形成了瓶颈 。 半导体设备先进部件的交货期与通常相比延迟了两倍以上 , 由原来的通常 2-3 个月拉长至超过 6 个月 。 美国、日本和德国生产的先进零部件交期延长尤为严重 , 如高级传感器、精密温度计、控制设备的 MCU 和电力线通信(PLC)设备 。 其中 PLC 设备的交期已经被延迟到超过 12 个月 。 出现这种情况的原因主要是零部件厂商通常重资产 , 扩产速度相对半导体设备厂商较慢 。
海外半导体研究机构 VLSI 将全球半导体零部件主要分为两大类 , 一大类是半导体关键子系统(Critical Subsystems) , 主要包括真空系统(Vacuum)、电源系统(Power)、流量控制(Fluid)、光学系统(Optical Subsystems)、晶圆传递(Wafer Robotics)、热量管理(Thermal)等 , 另一大类是关键零部件(Critical Components) , 包括静电卡盘、陶瓷件等 , 根据 VLSI , 2020 年全球半导体零部件关键子系统市场规模超过 122 亿美金 , 预计 2021 年同比再增长 7%达到约130 亿美金 。 VLSI 测算关键子系统市场规模在 120 亿美金左右的同时 , 认为关键零部件市场规模在 70 亿美金 , 若同样按照 7%增速测算 , 2021 年关键零部件市场规模预计为75 亿美金 。
由于 VSLI 数据为 2020 年底预测数据 , 实际上根据 SEMI , 全球半导体设备市场规模 2021年同比增长 44% , 若按照与设备市场同样的增速测算 , 2021 年半导体关键子系统的需求在 122*1.44=175.7 亿美金 , 关键零部件市场需求在 70*1.44=100.8 亿美金 , 合计市场规模或超过 275 亿美金 。
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