半导体|芯片国产化深度报告！设备、零部件、材料纷纷走上快车道 | 智东西内参( 四 ) 芯片|市场规模|机械|it芯片

根据招标网的数据统计，华虹无锡 2022 年上半年招标离子注入设备 18 台，其中 Sumitomo（住友商事）中标 8 台（7 台中电流离子注入设备），应用材料中标 7 台（均为高电流离子注入设备），亚舍立 2 台（分别为超高电流离子注入设备和高能量离子注入设备），北京烁科中科信 1 台，烁科中标的为中电流离子注入设备。积塔 2022H1 招标离子注入设备 12 台，其中亚舍立 10 台，应用材料 2 台。长江存储截至 2021 年底共招标涂胶显影设备 54 台，其中应用材料 44 台，亚舍立 8 台，中国台湾汉辰科技 2 台。
根据公开招投标信息统计，截止 2021 年底，长江存储项目累计中标过程控制类设备约 376 台，其中国产设备累计约 16 台。上海精测中标 6 台集成式膜厚设备；中科飞测中标 1 台晶圆表面凹陷检测系统、5 台光学表面三维形貌量测设备、2 台其他量测设备；睿励科学中标 2 台介质薄膜测量系统。 KLA 的设备机台数量占总数量约 26% ，中标数量约 97 台，覆盖超过30 种量测、检测需求。

▲国内龙头存储晶圆厂中标过程控制设备市占率分布

▲国内龙头存储晶圆厂中标过程控制设备 KLA 中标机台情况（台数）
根据招标网的数据统计，华虹无锡 2022 年上半年招标测试设备 57 台，其中 TEL 中标20 台（19 台测试探针台），是德科技中标 8 台， DISCO 中标 4 台，广立微中标 3 台，均为高性能并行电特性测试仪。积塔 2022H1 招标测试设备 16 台，TEL 9 台，上海友能4 台背面工艺测试测试机。
设备行业核心公司（北方华创、芯源微、华峰测控、中微公司、新益昌、长川科技、万业企业、精测电子、至纯科技，拓荆科技、华海清科及盛美上海由于 2020 年数据不完整未被算入）2022Q1营业收入总计76.2亿元，同比增长55.3%；扣非归母净利润11.4亿元，同比增长83.0% 。设备行业持续处于高速增长，国产替代空间快速打开，国内核心设备公司成长可期。

▲设备核心公司营业收入及归母净利润（亿元）
二、半导体零部件：供不应求，市场空间超200亿美金根据韩国 etnews 报道，半导体设备需求激增与上游零部件扩产不足的矛盾形成了瓶颈。半导体设备先进部件的交货期与通常相比延迟了两倍以上，由原来的通常 2-3 个月拉长至超过 6 个月。美国、日本和德国生产的先进零部件交期延长尤为严重，如高级传感器、精密温度计、控制设备的 MCU 和电力线通信（PLC）设备。其中 PLC 设备的交期已经被延迟到超过 12 个月。出现这种情况的原因主要是零部件厂商通常重资产，扩产速度相对半导体设备厂商较慢。
海外半导体研究机构 VLSI 将全球半导体零部件主要分为两大类，一大类是半导体关键子系统（Critical Subsystems），主要包括真空系统（Vacuum）、电源系统（Power）、流量控制（Fluid）、光学系统（Optical Subsystems）、晶圆传递（Wafer Robotics）、热量管理（Thermal）等，另一大类是关键零部件（Critical Components），包括静电卡盘、陶瓷件等，根据 VLSI ， 2020 年全球半导体零部件关键子系统市场规模超过 122 亿美金，预计 2021 年同比再增长 7%达到约130 亿美金。 VLSI 测算关键子系统市场规模在 120 亿美金左右的同时，认为关键零部件市场规模在 70 亿美金，若同样按照 7%增速测算， 2021 年关键零部件市场规模预计为75 亿美金。
由于 VSLI 数据为 2020 年底预测数据，实际上根据 SEMI ，全球半导体设备市场规模 2021年同比增长 44% ，若按照与设备市场同样的增速测算， 2021 年半导体关键子系统的需求在 122*1.44=175.7 亿美金，关键零部件市场需求在 70*1.44=100.8 亿美金，合计市场规模或超过 275 亿美金。