阿斯麦尔|国产光刻机关键技术“破冰”,ASML不想看到的局面发生

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ASML多次表态 , 希望能争取自由出货 , 让美国尽早回头改正错误 。 否则一旦客户自己掌握光刻机技术 , 到时候ASML的光刻机就不好卖了 。
而ASML不想看到的局面发生了 , 国产光刻机关键技术“破冰” , 中企公开了一项事关EUV光刻机的专利技术 。 这项技术“破冰”说明了什么?ASML呼吁自由出货 , 美国能听进去吗?

国产光刻机技术“破冰”ASML对掌握EUV公开量产能力显得十分自信 , 一度表示哪怕公开图纸 , 中国也造不出来 。
其实ASML并没有夸大这句话 , 造EUV光刻机的难度的确很高 , 没有全球化产业链的支持 , 可能连门槛都迈不过 。 但随着时间的推移 , ASML变得没那么自信了 , 改口表示物理规则在中国是一样的 , 永远别说永远 , 他们一定会去尝试的 。
ASML这样的态度相较以前完全不同 , 以前是骄傲和自信 , 现在是谦和与担忧 。

其实可以理解ASML的态度变化 , 能够量产EUV光刻机的确值得骄傲 , 全球范围内只有ASML一家公司能做到 , 也确实有自信的底气 。 但是光刻机造出来是需要卖的 , 不管是EUV光刻机还是DUV光刻机 , 如果卖不出去也没用 。
然后美国制定的规则让ASML无法顺利在大陆做EUV光刻机的生意 , 所以为了保障DUV光刻机在中国大陆的市场 , ASML不再摆架子 , 表示会加快中国市场布局 , 还强调DUV光刻机是可以自由出货的 。

除此之外 , ASML还夹杂着担忧的情绪 。 毕竟一旦中国大陆取得最终的突破 , 以后ASML就算获得出货许可 , 也不可能获得大量订单 。
这样的局面显然不是ASML希望看见的 。 可越是如此 , ASML不想看到的局面越容易发生 , 因为中企公布了一项专利 , 实现国产光刻机的关键技术“破冰” 。
公开信息显示 , 上海传芯半导体公布了一项名为“曝光成像结构、反射式光掩模版组及投影式光刻机”的专利技术 , 这项专利对提高光刻机分辨率和对比度 , 以及简化光刻工艺有帮助 。

这项技术“破冰”说明了事在人为 , 有一项技术突破后就会有第二项 , 第三项 , 国外能实现的技术 , 相信国内也可以 。 别看EUV光刻机被过度神话 , 其实也被一件件技术产品拼装起来的 , 在众多的专利支持下 , 完成最后一块拼图 , 实现量产 。
ASML对专利是十分重视的 , 也时刻关注中企在这方面的积累布局 。 有关注行业动态的人或许会知道 , 今年2月份 , ASML指控中国企业东方晶源可能销售侵权专利的产品 , 要求客户放弃与这家公司的合作 。

但东方晶源否认侵权 , 其拥有完备的知识产权体系 。 从这一案例可以得知 , ASML担心别的企业在核心技术上取得突破 , 在未来存在动摇自身地位的可能性 。
ASML呼吁自由出货 , 美国能听进去吗?或许ASML知道无法阻止这一切的发展 , 是否侵权也不是ASML说了算的 , 所以ASML采取的策略是加大出货量 , 劝诫美国放开自由出货 。 试想一下 , 若生产线都采用了ASML的光刻机 , 以后自己的设备取得突破后 , 又能获得多少订单呢?