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一直以来 ， 国人对于光刻机都保持了较高的讨论度 ， 但对于光刻机以外的其他芯片制造设备关注却不多 ， 诚然 ， 因为光刻机是半导体工业皇冠上的明珠 ， 集结了数学、高分子物理、化学、光学、机械等等多个领域的顶尖技术 ， 因此国人对国产寄予厚望 。
【万兴科技|支持5nm良率99.99%！又一芯片设备100%自研 创始人是开国上将之子】实际上 ， 近年来除了光刻机以外 ， 国产的其他芯片制造设备却迎来了巨大的发展 ， 当然我们知道其中最典型的就是蚀刻机 ， 国内企业中微公司的蚀刻机已经拿下了全球20%的份额 ， 国内另一家企业北方华创也拿到了6%的份额 ， 可谓是国产研发之光 。

实际上 ， 还有一个被忽略的设备就是量测设备 ， 对于这个名词很多人可能一头雾水 ， 量测设备是芯片良率控制的关键 ， 我们知道芯片良率越高 ， 代表工艺越成熟 ， 制造成本就越低 。
量测设备主要是用于晶圆加工的前后检测参数是否达标 ， 因此量测设备集合了光学、电学和光声技术 ， 技术难度也相当高 。 目前全球70%以上的市场都被美国的科磊、应用材料和日本日立高新所控制 。
但是近年来 ， 国内相关量测设备却获得大力突破 ， 国内企业东方晶源、中科飞测、上海精测和睿励都接连不断获得了突破 。 我们知道 ， 制造芯片是需要用到硅片的 ， 硅片的直径从最初的6英寸、发展到8英寸 ， 再到现在的12英寸 ， 直径越大就代表 ， 一个硅片能够制造的芯片越多 ， 一个12英寸硅片所能制造的芯片数量 ， 是8英寸的2.2倍 。
因为晶圆越大 ， 对检测设备的要求也越高 ， 现如今全球主流芯片制造已经逐渐倾向使用12英寸硅片 ， 因此摆在我国的难题是制造12英寸硅片的测量设备——CD-SEM以及薄膜厚度测量设备 。 能够实现这一技术的企业 ， 就包括上海睿励 ， 也就是中微公司的参股子公司 ， 持股比例为20% 。
上海睿励创立于2005年 ， 创始人是吕彤欣 ， 吕彤欣大有来历 ， 他是开国上将吕正操的二儿子 。 吕彤欣出生于1951年 ， 毕业于北京航空学院飞行器自动控制专业 ， 之后跟他的大哥一样也在航天部工作 ， 但是吕彤欣就有更高的追求 ， 1986年他赴美国留学又获得了电机工程博士学位 ， 在美国工作10年后 ， 2002年他回国创业 ， 瞄准了芯片量测设备这一中国空白领域 ， 很快就填补了中国在芯片产业链中的量测设备空白 。

然而 ， 由于过去十几年里 ， 中国的芯片产业规模较小 ， 缺乏芯片人才以及芯片制造厂商 ， 国内量测产业发展较为缓慢 ， 相关企业很难获得盈利 ， 上海睿励同样如此 ， 但是由于吕彤欣率领的精心于研发 ， 上海很多国资企业以及投资机构源源不断地为睿励注入资金 ， 因此这么多年来 ， 睿励一直维持经营 ， 并且不断获得技术突破 ， 在12英寸量测设备率先突破 ， 但是公司始终保持着低调 。
早在2020年 ， 睿励就推出了12英寸光学薄膜两侧设备 ， 并且拥有完全自主知识产权 ， 良率可达到99.99% ， 而且性能上与国际厂商同类设备相当 ， 而且在之前已经被国际以及国内厂商试用 ， 其中就包括韩国三星 。
2021年6月 ， 睿励又推出了新一代光学膜厚量测设备（TFX4000i） ， 在TFX3000P的全部优越性能上再次进行功能升级和完善 ， 尤其是增加了反射测量模块和深紫外测量模块 ， 由此涵盖了更广泛的工艺段应用 。 这款产品甚至可以适用于5nm的前后道工艺、10 nm 级DRAM ， 3D NAND等制造生产线 。 根据睿励2020年报 ， 其员工总数只有85人 ， 但是2021年底 ， 睿励科学仪器公司持有的专利数量达到104个 ， 背景用占比高达58.25% ， 位列全国半导体前道设备供应企业专利被引用比例第七强 。

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