顺丰速运|复旦大学突破CFET晶体管技术,有望绕开EUV光刻工艺!( 二 )



相比于硅基材质 , 二维原子晶体在原子层精度上的提升 , 让其在小尺寸环境的短沟道控制能力更加的优越 , 在按照正常程序制备的硅基上 , 融入三维堆叠的二硫化钼(MoS2) , 经由一系列的反应形成异质CFET结构 。
而二硫化钼的低温工艺能都与之高度兼容 , 避免器件退化的同时 , 还能够有效的降低工艺难度 , 该项技术一旦被全面应用 , 将有效降低晶体管的密度问题 。

而CEFT晶体管技术已经被列为未来发展重点 , 被认为是用于2nm、3nm芯片制造的GAAFET工艺的“接班人” , 如果能够与芯粒技术结合应用 , 就能够有效解决芯片制造的成本问题 , 目前英特尔已经开始展开对应的布局 。
最为关键的是能够降低对先进工艺的依赖 , 只要性能够达标的话 , 很可能后续就不再需要EUV光刻机了 , 毕竟一台上亿美元的EUV光刻机 , 并非是想要就能要的 , 摆脱对于ASML的依赖 , 才是目前急需的 。

如果能够实现CEFT晶体管技术的全面应用 , 只要国内能够实现28nm工艺自主化 , 就足以应对现阶段的一切需求 , 目前国内在芯片后道技术上 , 还是位于世界一流水平的 , 这也是我们弯道超车的关键 , 对此你们是这么看的呢?