clay mask面膜;小泥子深层清洁原泥;深层洁肤泥;泥面膜例句:The clay imprint was used as a model for the plaster mask. 粘土印迹作为石膏面具的模型而用 。
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集成电路行业中所说的“掩膜”是什么意思啊?
集成电路行业中所说的“掩膜”是光掩膜
【mask是什么意思,集成电路行业中所说的“掩膜”是什么意思啊?】光掩膜(mask)资料:
在半导体制造的整个流程中,其中一部分就是从版图到wafer制造中间的一个过程,即光掩膜或称光罩(mask)制造 。这一部分是流程衔接的关键部分,是流程中造价最高的一部分,也是限制最小线宽的瓶颈之一 。
光掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面 。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版 。主要分两个组成部分,基板和不透光材料 。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃 。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层 。铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害 。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版 。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,其中后者可以应用于芯片制造 。(顺便提一下,通常讲的菲林即film,底片或胶片的意思,感光为微小晶体颗粒) 。
在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小 。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,也有称为中间掩膜,reticle作为单位译为光栅),用步进机重复将比例缩小到master maks上,应用到实际曝光中的为工作掩膜(working mask),工作掩膜由master mask复制过来 。
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