光刻机|卡主中国脖子的技术——光刻机

光刻机|卡主中国脖子的技术——光刻机


【光刻机|卡主中国脖子的技术——光刻机】制造芯片的光刻机 , 其精度决定了芯片性能的上限 。 在“十二五”科技成就展览上 , 中国生产的最好的光刻机 , 加工精度是90纳米 。 这相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准 。 而国外已经做到了十几纳米 。
光刻机里有两个同步运动的工件台 , 一个载底片 , 一个载胶片 。 两者需始终同步 , 误差在2纳米以下 。 两个工作台由静到动 , 加速度跟导弹发射差不多 。 在工作时 , 相当于两架大飞机从起飞到降落 , 始终齐头并进一架飞机上伸出一把刀 , 在另一架飞机的米粒上刻字 , 不能刻坏了 。