光刻机|ASML总裁:我们严重低估了,外媒:这相当于中国光刻机“有戏”了

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熟悉光刻机领域的朋友应该知道 , 在光刻机领域 , 从市场份额上来看 , 主要是被这三大公司所把持 , 分别是ASML、尼康和佳能 。

【光刻机|ASML总裁:我们严重低估了,外媒:这相当于中国光刻机“有戏”了】其中ASML公司占据了较大的市场份额 , 从占比来看 , 大约在70%到80% , 也就是说 , 即便是在以DUV光刻机为代表的成熟制程领域 , ASML的光刻机依然热销 。
其实ASML的崛起 , 本来就是从DUV光刻机开始 , 具体来说 , 是在从193纳米到154纳米光源的转折中出现的 。
ASML选择采用浸润式技术 , 这样193纳米波长的光 , 可以直接等效134纳米 , 比154纳米波长还要短 , 让ASML一举超过了尼康 。

不过近日ASML总裁温宁克在财报电话会议上表示:我们严重低估了芯片需求的广度 , 我认为这种情况不会消失 。
具体来说 , 目前芯片短缺问题依然很严重 , 温宁克认为这种芯片短缺的情况会依然持续很久 。
上面我们提到 , ASML占据了光刻机市场七八成的市场份额 , 因此对于市场芯片短缺的程度应该是最敏感的 , ASML总裁温宁克的发言比任何媒体和研究机构都会更有可信度和说服力 。

因此有外媒表示 , 这相当于中国光刻机”有戏“了 。
这是因为 , 芯片的短缺并非只是先进工艺芯片的短缺 , 而是广泛的短缺 , 这就包括很多成熟工艺 。
我们从二手光刻机市场就能看出很多端倪 , 例如根据之前媒体报道称 , 佳能一款支持350纳米工艺的光刻机 , 其售价竟然翻了17倍 。

以中芯国际为例 , 其约65%的营收 , 都来自55/65纳米及以上工艺 , 其中150/180纳米营收占比最大 , 约占比29% 。
这都说明 , 并非只有EUV光刻机才是刚需 , 也并非只有EUV光刻机才有市场 , 事实上那些我们看似落后的成熟工艺的光刻机 , 市场需求量依然庞大和急切 。
而这就为我们国产光刻机提供了机会 , 这也是为什么外媒会说中国光刻机有”有戏“了的原因所在 。

以上海微电子为例 , 其600系列光刻机 , 可以支持280纳米、110纳米和90纳米分辨率 , 光源上分别采用i线、KRF准分子激光器和ARF准分子激光器 。

其中SSA600/20步进扫描投影光刻机分辨率为90纳米 , 这里需要做一个特别说明 , 光刻机的分辨率 , 并不直接等于可以做到的芯片制造工艺 。
我们就以ASML的EUV光刻机为例来说 , 其第一代采用0.33数值孔径的光刻机 , 最大分辨率为13纳米 , 第二代采用0.55数值孔径的光刻机 , 最大分辨率为8纳米 。

也就是说 , 上海微电子的SSA600/20光刻机 , 并不是只能生产90纳米芯片 , 实际上 , 这款光刻机可以支持到65纳米生产工艺 。
根据媒体报道称 , 一位芯片制造商的代表表示 , 相比较购买二手光刻机 , 我们更愿意购买新机器 。
很显然 , 目前市场对光刻机的需求旺盛 , 而我们国产光刻机毫无疑问是迎来了一次机会 , 所以说中国光刻机”有戏“了 。

这不仅仅只是出货量可以获得提升 , 因为芯片制造商要采购一个新厂家的光刻机 , 需要经过很长时间的测试环节 , 前提是芯片制造商有采购的意愿 。