阿斯麦尔|EUV光刻机3大核心:2大来自德国,1大来自美国,ASML负责组装

阿斯麦尔|EUV光刻机3大核心:2大来自德国,1大来自美国,ASML负责组装

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【阿斯麦尔|EUV光刻机3大核心:2大来自德国,1大来自美国,ASML负责组装】阿斯麦尔|EUV光刻机3大核心:2大来自德国,1大来自美国,ASML负责组装

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众所周知 , 在芯片领域有一种特别重要 , 特别受关注 , 同时中国技术又相对落后的设备 , 那就是光刻机 , 芯片制造必不可少的设备之一 。
特别是EUV光刻机 , 目前全球仅ASML一家能够制造 , 很多人称EUV光刻机是人类建造的最复杂的机器之一 , 所以ASML也被很多人奉上“神坛” , 甚至还传出“给你全套图纸 , 你也造不出光刻机”的说法 。

但要我说 , ASML其实也只是一个组装厂 , 它是整合全球的供应链 , 最后将什么EUV光刻机组装了出来 , 你会怎么想?
EUV光刻机的原理是什么?说起来超级简单 , 就是激光器激发出13.5nm波长的极紫外线 , 然后经过矫正后形成一束可控的光 , 再用能量控制器 , 将这一束光投射到光掩膜台后 , 再经过物镜投射到曝光台 , 最后在涂了光刻胶的硅晶圆上蚀刻出电路 。

一台EUV光刻机有三项核心技术 , 分别是顶级的光源(激光系统)、高精度的镜头(物镜系统)、精密仪器制造技术(工作台) 。
激光系统就是产生极紫外线的系统 , 这项技术来源于美国企业Cymer , 2012年被ASML收购了 。
高精度的镜头 , 也就是将激光进行收集成束 , 以及物镜系统 , 这一块的技术来源德国的蔡司 , 蔡司拿出了全世界最平表现的元件 , 那就是分布式布拉格反射器 。
第三项核心技术 , 也就是精密仪器制造技术 , 也来自于德国 , 甚至连核心一中的整体打包方案都是德国TRUMPF公司提供的 。

按照媒体的说法 , 一台EUV光刻机中 , 超过10万个零件 , 其中ASML只掌握了不到10%的核心技术 , 另外的90%全靠ASML全球去整合资源 , 甚至需要全球进口 。
ASML最大的能力是了解客户需求 , 整合供应链 , 最后把光刻机组装出来 , 这一特质 , 在当时ASML与台积电合作 , 全球首造浸润式光刻机时就注定了的 。
当时 , 尼康、佳能是光刻机大哥 , ASML只是小厂 , 台积电提出可以用水做介质 , 尼康、佳能傲慢自大 , 认为这是个馊主意 , 而ASML是小厂 , 看不到希望 , 干脆搏一搏 , 说不定单车变摩托 , 最后这一搏 , 搏出来了ASML的未来 。

所以ASML尝到了甜头后 , 认清了现实 , 那就是自己最重要的就是看各大晶圆厂需要什么样的东西 , 然后再全球找供应链 , 再和客户一起研究试验 , 把客户需要的东西组装出来 。
而不是自己苦哈哈的埋头做研究 , 最后发现这研究出来的玩意 , 客户不需要 , 那才是研发的失败 , 这是ASML的长处 , 也是芯片行业的丛林法则 , 那就是攒局 , 将各大利集团捆绑在一起 , 才是核心 。