2022年1-12月 , 积塔合计招标502项 , 以量测、沉积类、刻蚀设备居多 。
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2022年12月 , 华虹合计招标35项 , 以量测、探针台、刻蚀和退火设备为主 。
2022年1-12月 , 华虹合计招标263项 , 以量测、检测、热处理设备居多 。
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2022年12月 , 中芯包括临港12寸晶圆产线在内合计招标30项基建项目 。
2022年1-12月 , 中芯合计招标148项基建项目 。
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2022年12月 , 长鑫招标1项基建项目 。
2022年1-12月 , 长鑫合计招标12项基建项目 。
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中标方面 , 2022年12月 , 统计样本中的晶圆产线上合计中标118台设备 , 以探针台、量测、炉管设备居多;国产设备整体中标比例约38% , 以CVD、清洗、去胶、研磨抛光设备为主 。
2022年1-12月 , 统计样本中的晶圆产线合计中标1040台设备 , 以量测、沉积类、热处理设备居多;国产设备整体中标比例约30% , 其中 , 硅片再生、气液系统、去胶、湿法腐蚀、PVD设备的国产中标比例较高 。
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2022年12月 , 创微微电子、北方华创、上海精测、中科飞测等国内半导体设备厂商合计中标23台设备 , 在对应工艺环节的中标比例为44% 。
其中 , 创微微电子中标9台清洗设备和4台去胶设备 , 中标量位居12月首位 , 并且在清洗和去胶设备领域的中标比例分别为100%和40%;北方华创中标5台氧化设备 , 在对应工艺环节的中标比例为63%;上海精测中标4台量测设备 , 在量测设备领域中的中标比例为24% 。
中科飞测中标1台检测设备 , 在量测设备领域中的中标比例为13% 。
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2022年1-12月 , 国内半导体设备厂商合计中标231台设备 , 北方华创、创微微电子、中微公司、万业企业中标量领先 , 分别中标64台、28台、22台、21台设备 。
其中 , 北方华创中标以氧化、刻蚀、PVD设备居多;创微微电子中标以清洗、湿法腐蚀、去胶设备为主;中微公司中标则以刻蚀设备为主;万业企业中标以刻蚀、沉积、热处理设备为主 。
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