2022年1-12月 ， 国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为26% 。
其中 ， 盛美上海的硅片再生设备、北方华创的PVD设备和氧化设备、创微微电子的湿法腐蚀设备在对应工艺环节的中标比例领先 ， 分别为67%、50%、50%、47% 。
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